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NX1000系列工业检测显微镜

●  采用NIS45无限远光学系统,具有工作距离长、色差矫正能力强、成像锐利等优秀的光学品质。

●  专为工业大面积观察需求设计,采用12寸超大载物台,满足FPD及LSI的检测;同时加入离合器平台手柄及物镜转换等人性化部件,极大降低了长时间显微操作带来的疲劳。

●  采用模块化设计,可实现明畅、暗场、微分干涉、荧光、偏光等观测方法,是半导体器件、FPD、电子器件、材料、精密模具制作等质控和研究的理想工具。

  •      品味直观 渐入佳“镜” 











  • NX1000系列工业检测显微镜配置表
    主体   光学系统   NIS45无限远光学系统
    目镜   SW10X(22)  SW10X(25)  EW12.5X(17.5)  WF15X(16 ) WF20X(12)
    调焦系统   低手位同轴调焦机构,带高度限位环、粗动松紧调整环及左右微动手轮互换机构,调焦范围32mm,微调格值1μm
    落射照明   12V 100W 卤素灯 
    透射照明   LED-40W 冷光源
    目镜筒  
    铰链式三目观察镜筒  目镜/端口:100/0、20/80、0/100  俯角:30度,瞳距调整范围:47-78mm
    人体工学铰链式三目观察镜筒  目镜/端口:100/0、20/80、0/100  俯角:0-30度,瞳距调整范围:47-78mm
    物镜转换器   电动六孔明暗场转换器,带DIC插槽
    载物台   大平台14”x12”,行程:356x305mm(透射光可照明区域:356 x 284mm),可用于300mm晶圆,附试样托架
    聚光镜   透射照明配置聚光镜
    观察方法   落射   明场、暗场、DIC、简易偏光、荧光
    透射   明场、简易偏光